Differbetween
Skillnaderna mellan isotrop och anisotrop etsning har att göra med formen som de hugger ut under etsningsmask. Anisotrop etsning är när plasmaetsningen är vinkelrät och sker i en riktning medan isotrop etsning sker när plasmaetsningen är i alla riktningar.
- Vad är anisotrop etsning?
- Är våtetsning isotrop?
- Är torretsning anisotrop?
- Vad är skillnaden mellan våtetsning och torretsning?
- Vilka är de typer av etsning?
- Vad används plasmaetsning för?
- När etsselektiviteten är hög betyder det?
- Hur kontrollerar du etsning?
- Varför behövs etsning?
- Vad kan orsaka etsning vid torr etsning?
- Vad är kiseletsning?
- Vad är meningen med etsning?
Vad är anisotrop etsning?
Anisotrop etsning är en subtraktiv mikrofabriceringsteknik som syftar till att företrädesvis ta bort ett material i specifika riktningar för att få invecklade och ofta plana former. Våta tekniker utnyttjar de kristallina egenskaperna hos en struktur för att etsa i riktningar som styrs av kristallografisk orientering.
Är våtetsning isotrop?
Våt kemisk etsning är i allmänhet isotrop även om det finns en mask eftersom det flytande etsmedlet kan tränga in under masken. Eftersom riktning vanligtvis är viktig för mönsteröverföring med hög upplösning används våt kemisk etsning normalt inte.
Är torretsning anisotrop?
Torr etsning är vanligtvis en anisotropisk process där momentet hos jonarter som accelererar mot substratet i kombination med en maskeringsprocess används för att fysiskt avlägsna och etsa målmaterialen.
Vad är skillnaden mellan våtetsning och torretsning?
Torr och våt etsning är två huvudtyper av etsningsprocesser. Dessa processer är användbara för att ta bort ytmaterial och skapa mönster på ytorna. Huvudskillnaden mellan torr etsning och våt etsning är att torr etsning sker i en flytande fas medan våt etsning görs i en plasmafas.
Vilka typer av etsning?
I allmänhet finns det två klasser av etsningsprocesser:
- Våtetsning där materialet löses upp när det nedsänktes i en kemisk lösning.
- Torr etsning där materialet sprutas eller löses med reaktiva joner eller ett ångfasetsmedel.
Vad används plasmaetsning för?
Plasmaetsning används för att "grova" en yta i mikroskopisk skala. Komponentens yta etsas vanligtvis med en reaktiv processgas som ger både en kemisk och fysisk effekt på ytan.
När etsselektiviteten är hög betyder det?
Hög selektivitet är en relativ term för att beskriva när två material etsar vid signifikant olika etshastigheter för att ge önskade resultat. Ofta hänvisar det till fall där masken etsar långsamt jämfört med materialet som mönstras med etsningen.
Hur kontrollerar du etsning?
Våt kemisk etsning är isotrop och producerar rundade sidoväggsmikrokanaler. Sidoväggens form och vinkel kan justeras genom att applicera titan som en avtagande mask under våtetsning (Fig. 1.5) (Pekas et al., 2010). Kanalens djup styrs av etshastigheten och etsningstiden.
Varför behövs etsning?
Etsning används för att avslöja metallens mikrostruktur genom selektiv kemisk attack. Det tar också bort det tunna, mycket deformerade skiktet som införs under slipning och polering. I legeringar med mer än en fas skapar etsning kontrast mellan olika regioner genom skillnader i topografi eller reflektionsförmåga.
Vad kan orsaka etsning i torr etsning?
Torr etsning avser avlägsnande av material, typiskt ett maskerat mönster av halvledarmaterial, genom att exponera materialet för ett bombardemang av joner (vanligtvis en plasma av reaktiva gaser såsom fluorkolväten, syre, klor, bortriklorid; ibland med tillsats av kväve, argon, helium och andra gaser) det ...
Vad är kiseletsning?
INTRODUKTION. Etsning, i sammanhanget med denna bok, hänvisar till upplösningsprocesser som enhetligt eller företrädesvis avlägsnar material från kiselkristaller nedsänkta i en lösning. Etsning av kisel har utforskats i stor utsträckning på grund av dess användbara tillämpningar vid tillverkning av elektroniska apparater.
Vad är meningen med etsning?
transitivt verb. 1a: att producera (något, såsom ett mönster eller design) på ett hårt material genom att äta i materialets yta (som med syra eller laserstråle) b: att utsättas för sådan etsning. 2: för att avgränsa eller imponera tydligt scener som är etsade i våra sinnen smärtes hans egenskaper.
